中國半導體蝕刻機破局的過程是通過國內科研投入和技術突破來實現的。

中國在科研投入方面持續增加，為半導體蝕刻機的破局提供了強大的支持。根據2022年的數據，中國的科研投入金額約為2.79萬億元人民幣，比2020年增長了15.6% 。

中國在光刻機關鍵技術方面取得了一系列突破，為半導體蝕刻機的破局奠定了基礎。例如，中國成功解決了EUV光源的問題，并在國內完成了首臺高能同步輻射光源科研設備的安裝 。此外，南京大學的研究團隊通過開發選區刻蝕、高溫氧化修復與低溫金屬化工藝，成功實現了國際首支寬禁帶半導體pn結構EUV探測器 。

中國的半導體設備制造企業在國產化方面取得了顯著進展。例如，上海積塔半導體在全球設備招標中獲得了30臺設備的訂單，這些設備主要用于芯片制造 。此外，上海新陽半導體也開始對EUV光刻膠展開前期探索性基礎研發，為國產化光刻器打下了基礎 。

盡管中國在半導體蝕刻機破局方面取得了一定的進展，但要沖擊到國際領先企業如阿斯麥爾仍然具有一定的難度。阿斯麥爾在EUV光刻機領域具有強大的技術實力和市場份額，并且不斷進行研發和創新。此外，美國對中國企業的限制措施也對中國半導體產業的發展帶來了一定的挑戰。

中國半導體蝕刻機破局是通過科研投入的增加、關鍵技術的突破和國產化進展來實現的。盡管面臨一定的挑戰，中國仍然有望在半導體蝕刻機領域取得更大的突破。